【kf真空法蘭】等離子體測試實(shí)驗(yàn)裝置真空腔體設(shè)計(jì)

Source：http://hiimart.cnRelease Time：2019-07-18

【kf真空法蘭】等離子體測試實(shí)驗(yàn)裝置真空腔體設(shè)計(jì)
離子源是電磁分離器的核心部分,離子源在實(shí)驗(yàn)過程中,會釋放氣體用于電離、產(chǎn)生離子束。真空室的真空度需維持在(1~4)×10-3　Pa。由于真空環(huán)境是用于研制離子源的等離子體實(shí)驗(yàn)測試裝置所必需的,因此,需要配備一套真空腔體。1　材料選取由于實(shí)驗(yàn)涉及施加磁場,真空腔體的材質(zhì)必須具有無磁特性。常用的無磁材料為銅、鋁和不銹鋼。銅、鋁的強(qiáng)度和剛度相比不銹鋼要差,不適于制作大真空腔體。綜上考慮,選用無磁不銹鋼作為真空腔體的加工材料。2　功能設(shè)計(jì)開展離子源實(shí)驗(yàn)的真空腔體必須實(shí)現(xiàn)如下功能:模擬電磁分離器的工作環(huán)境,具有穩(wěn)定的真空度,具備測量束流參數(shù)的功能,同時(shí)具備多個(gè)觀察窗,可實(shí)時(shí)監(jiān)測離子源放電情況。1)離子源的束流具有較大的張角為實(shí)現(xiàn)束流測量功能,真空腔體的橫截面必須大到足夠容納束流。在實(shí)驗(yàn)時(shí),離子束的張角有可能會超過±14.5°。由于二級磁鐵的尺寸為550mm,所以束流傳輸長度至少應(yīng)大于550mm,本文取1　000 mm,則對應(yīng)的束截面寬度為。



各種射頻、慣性、機(jī)械諧振器等MEMS器件通常在高真空環(huán)境下才能保證優(yōu)良的性能和較高的品質(zhì)因數(shù)，因而需要進(jìn)行真空封裝。本文提出采用真空電阻熔焊來實(shí)現(xiàn)MEMS器件真空封裝的新方法。通過理論、數(shù)值模擬、實(shí)驗(yàn)等方法系統(tǒng)地研究了MEMS器件真空電阻封裝過程中的關(guān)鍵技術(shù)問題，制定MEMS器件的真空電阻熔焊封裝的工藝標(biāo)準(zhǔn)。真空封裝過程中需監(jiān)測MEMS器件的真空度。本文采用石英晶振的諧振電阻隨環(huán)境真空度變化而變化的原理實(shí)現(xiàn)了MEMS器件小體積內(nèi)的真空度測量，并深入研究了各種影響真空度測量的因素。